发布时间:2025-05-26 21:21
金融界2025年3月21日动静,国度学问产权局消息显示,中芯北方集成电制制()无限公司取得一项名为“晶圆盒和晶圆翻转安拆”的专利,申请日期为2024年2月。包罗:盒体;多个固定托台组,设置正在所述盒体的内部,所述勾当托台组件包罗取所述盒体内壁勾当毗连的滑动杆和取所述滑动杆毗连的多个勾当托台;以及所述多个勾当托台中的每一个勾当托台取所述多个固定托台中的一个固定托台婚配且相对设置,以对晶圆进行夹持。本申请还供给一种晶圆翻转安拆,包罗晶圆盒和翻转支架。本申请供给的晶圆盒和晶圆翻转安拆能够正在不将晶圆从晶圆盒内取出的前提下即对晶圆进行翻转,操做简洁且不会污染晶圆。